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光罩盒

光罩盒用于半导体光罩、掩膜版等精密光刻部件的洁净存储、转移和运输,可减少光罩在搬运及暂存过程中受到颗粒、灰尘、划伤及外部污染的风险。产品根据实际设计采用洁净材料及低接触结构,为光刻工艺中的光罩管理提供稳定的保护方案,适用于半导体制造、光刻工艺、洁净室及精密光学应用

产品特性

  • 洁净存储保护:用于光罩及掩膜版的洁净存储和周转,降低颗粒、灰尘及外部污染风险。
  • 低接触设计:通过合理的内部支撑或定位结构减少与光罩关键表面的接触,降低划伤及颗粒转移风险。
  • 稳定定位:内部结构可对光罩进行可靠固定,减少搬运、存储及运输过程中的移动和碰撞。
  • 洁净材料选择:根据实际产品设计采用适合洁净室应用的材料,降低颗粒、析出物及污染风险。
  • 便于开启与转移:合理的盒体和开合结构便于操作人员在洁净环境中进行光罩存取和转移。
  • 多种规格可选:可根据光罩尺寸、厚度及客户设备要求提供不同规格或定制方案。
  • 半导体湿法设备超纯水管路
  • 高纯化学品输送系统
  • 光伏制程管线
  • 腐蚀性流体控制
  • 蒸汽分配管路
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光罩盒

产品优势

德容元道的核心产品优势

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专利嵌入式结构

专利嵌入式接头结构,为半导体级超高纯度流体管路提供更高纯度的密封连接。

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超高纯度

生产过程中严格控制杂质和金属离子;在放大倍数(200倍)下未检测到黑点。

半导体级洁净度

适用于半导体级超高纯度流体管道,满足严格的工艺要求。

SGS认证

金属离子沉淀检测 SGS 100% 符合性

耐高温和耐腐蚀

最高工作温度200℃,可耐受强酸强碱等腐蚀性介质。

安装简便

使用专利专用安装工具(ZL2023 20867009.7),安装高效可靠。

应用场景

涵盖六大高端制造行业,满足不同领域的流体连接需求

行业 PFA入珠类 PFA扩口类 PFA管材类 PFA阀体类
芯片半导体领域 table_gou table_gou table_gou table_gou
光伏太阳能领域 / table_gou table_gou table_gou
化工/能源领域 table_gou table_gou table_gou table_gou
新能源领域 table_gou table_gou table_gou table_gou
医疗/实验室领域 / table_gou table_gou table_gou
液晶面板领域 / table_gou table_gou table_gou

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